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综合多方信息来看，由于闭环压电定位器中通常使用的放大器和传感器具有模拟特性，分辨率并非由离散步进决定（步进电机或增量编码器则典型如此），这使得它在理论上是无限的。实际上，始终需要考虑微观摩擦，并且传感器和控制电子元件的噪声也会对实际可用分辨率产生影响。对于典型的成像、定位和对准应用，实际可用分辨率是独立测量所得位置噪声的1σ值，或约为峰峰值噪声的六分之一。如上所述，除了这个统计数字外，定位器执行纳米级离散步进的图形数据，能大量揭示系统响应、稳定性和重复性的信息，并直接适用于纳米定位系统的使用方式。
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